蘇州阿洛斯環(huán)境發(fā)生器有限公司 · 品質(zhì)創(chuàng)造價(jià)值 服務(wù)成就未來(lái)！
服務(wù)熱線(xiàn)：15895470335
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
CVD氣源發(fā)生器，設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計(jì)的嵌入式預(yù)熱器。
產(chǎn)品分類(lèi)
設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計(jì)的嵌入式預(yù)熱器。液態(tài)前驅(qū)體經(jīng)過(guò)蒸發(fā)段氣化，隨后調(diào)溫輸出。輸出組分進(jìn)一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態(tài)原料。前驅(qū)體接觸的材質(zhì)均采用耐腐蝕材料。
例
PLC控制系統(tǒng)，Ethernet通訊，與CVD生產(chǎn)線(xiàn)主控系統(tǒng)通訊。
含錫前驅(qū)體 | ≤60 | sccm |
含氟前驅(qū)體 | ≤20 | sccm |
H2O | ≤60 | sccm |
功率 | 7.5 | kW |
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