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CVD氣源發(fā)生器

產(chǎn)品簡介

CVD氣源發(fā)生器,設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計的嵌入式預(yù)熱器。

更新時間:2025-05-13
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計的嵌入式預(yù)熱器。液態(tài)前驅(qū)體經(jīng)過蒸發(fā)段氣化,隨后調(diào)溫輸出。輸出組分進一步分布或混合,為CVD工藝提供氣態(tài)原料。前驅(qū)體接觸的材質(zhì)均采用耐腐蝕材料。

PLC控制系統(tǒng),Ethernet通訊,與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊。


 


 

含錫前驅(qū)體  

60  

sccm  

含氟前驅(qū)體  

≤20  

sccm  

H2O  

60  

sccm  

功率  

7.5  

kW  

 

 

 



CVD氣源發(fā)生器  



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